半导体工厂GXS160/1750 edwards爱德华干泵维修 真空泵故障解决

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半导体工厂GXS160/1750 edwards爱德华干泵维修 真空泵故障解决

GXS160/1750

1. 噪声大/异响：多为轴承磨损、螺杆/齿轮间隙增大或异物进入泵腔，需更换磨损轴承/零件、清除腔体内异物，确保润滑充足。

2. 真空不足：常见密封件老化泄漏、泵油乳化/不足、流道堵塞，需更换密封件、加注原装泵油、清理管路及泵内堵塞物。

3. 无法启动/转速不够：检查电源（保险丝、电压）、电机转向，纠正极性或修复电机故障，排除泵内卡阻（如异物、零件变形）。

4. 漏气：排查密封件、管道连接处、泵本体裂纹，更换损坏密封件、紧固接头，必要时修复泵体损伤。

维修

1. 初步诊断：查电源、管路密封性、运行声音，读取故障代码；

2. 拆解：清洁泵体、检测核心部件（轴承、螺杆、密封件）磨损情况 ；

3. 维修更换：使用原装备件替换损坏部件，加注专用润滑油 ；

4. 测试验收：进行密封测试、真空性能验证 。

注意事项

维修周期：常见故障3-5天，复杂故障7-15天，优先选择支持现场维修或设备调换的服务商（减少停机时间） ；

禁止非专业操作：拆解需专用工具，避免自行维修造成二次损坏；

定期维护：定期更换密封件、清洁滤芯、检查泵油，可降低故障概率。

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